Установка выращивания монокристаллов ГРАНАТ-ЭЧ

Установка предназначена для выращивания высокотемпературных оксидных монокристаллов методом Чохральского.

Примечание.

Установка может быть выполнена с индукционным или резистивным нагревом.

Максимальные размеры выращиваемого кристалла, мм

Диаметр, мм	140
Длина, мм	300

Внутренние характеристики рабочей камеры

Диаметр, мм	600
Высота, мм	1200
Остаточное давление в рабочей камере	7,5х10-4 мм ртутного столба

Расход газов в камере

Аргон	0,4-1,2 м3/ч
Кислород	0,008-0,024 м3/ч

Привод перемещения штока обеспечивает

Рабочую скорость	0,2-20 мм/ч
Скорость установочного перемещения	20-200 мм/мин
Рабочий ход вытягивания	500±10 мм

Габаритные размеры установки

Длина, мм	1835
Ширина, мм	1410
Высота, мм	2745
Масса, кг	1370

Назад в раздел