1, Shchorsa boulevard, Bryansk, 241031, Russia
+7 (4832) 29-65-75
td@termotron.ru

Манипулятор-перекладчик полупроводниковых пластин «ОВЕН»

Манипулятор-перекладчик полупроводниковых пластин «ОВЕН»

Манипуляторы - перекладчики предназначены для перекладки полупроводниковых пластин между транспортными, технологическими кассетами и кварцевыми лодочками с расширенным набором дополнительных функций.

Режим работы: автоматический, полуавтоматический, ручной.




Технические характеристики


Количество одновременно перекладываемых пластин-
Ø150 мм25,50 шт.
Ø100 мм50 шт.
Уровень привносимой дефектности на одной пластине частиц размеромне более 0,1 мкм, 1 см2 не более 2 - 3 шт.

Габаритные размеры

Длина620 мм
Ширина45 мм
Высота665 мм
Массане более 65 кг



Назад в раздел





логотип.jpg


      © 2014 AO "Termotron-Zavod"
1, Shchorsa boulevard, Bryansk, 241031, Russia
td@termotron.ru
Phone:

+7 (4832) 29-65-75

We are in social networks

Developed in Web-center